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株式会社サトウブロダクト

SPμ-x1次世代高速外観検査装置

New Technology Arrived

Feature1 High Resolution

ノイズ比較@200DN (/255DN、標準偏差値) *100x100px

4色照明 (LED) Red、Green、Blue and Whiteの光源を採用

Feature1 High Resolution

High Throughput

12 inch wafer

(Target)

8 inch wafer

(Target)

Feature1 High Resolution

独立した光学系アライメント

SPμ-x1 Option

裏面検査エリアカメラによる裏面検査システム

エッジ検査

  1. プレアライメント時にエッジ部分の検査をラインセンサーカメラにより実施
  2. 取得した欠陥データは表面検査結果とともに報告

SPμ-x1 装置緒元

主な仕様
画素サイズ
5um,2um,1um
スループット(12inch)
30WPH@1um pixel/200WPH@5μm pixel
装置サイズ
1400(W) × 2300(D) × 1900(H)mm
オプション
裏面検査
画素サイズ:160um
スループット:120WPH
エッジ検査
画素サイズ:150μm
データ取得時間:3秒
デモ対応
弊社東京ラボのクリーンルームにてライブデモが可能です。
  1. ・デモルーム環境:Class100相当
  2. ・ライブ、ウェーハデモどちらでも対応できます