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株式会社サトウブロダクト

PRESTIGEⅡ高性能ウェーハマクロ検査装置

R.G.B Ilumination & FLEX Armテクノロジー

検査処理能力

PRESTIGEモデル 画素分解能 処理能力
12㌅Model 7μm 40wph
38μm 120wph
8㌅Model 7μm 60wph*¹
25μm 120wph
6㌅Model 7μm 80wph*¹
25μm 150wph*¹

処理能力:パターン付きウェーハでの処理枚数 *1:処理能力:理論計算値

マクロ外観検査装置のアプリケーション

膜厚測定器 PRESTIGE
測定数
(/Wafer)
9points
19,835,847points
測定数 2wafers/Lot 25wafers/Lot
検査時間 38sec/wafer
※搬送時間除く
30sec/wafer
※搬送時間含む
※欠陥検査含む
欠陥検査 NA
LEDやMEDIAの検査にも有効

検査領域アドバンテージ

ウェーハ全領域の検査が可能

MURA検査アドバンテージ

MURA検査
・欠陥検査と同時処理
・リファレンスGL値を参照してGL差分を検出

ロット間、ウェーハ面内の膜厚などのバラツキを判定

欠陥検査・MURA検査同時処理アドバンテージ

同LOTの検査結果

画像保存アドバンテージ

全ての情報を自動保存 トレーサビリティーに有効

裏面検査アドバンテージ

裏面検査機能

ウェーハ裏面を4方向から照射し、エリアセンサーによる一括画像取得、及び独自アルゴリズムによる画像比較検査を行います

PRESTIGE装置外観図
デモ対応
弊社東京ラボのクリーンルームにてライブデモが可能です。
  1. ・デモルーム環境:Class100相当
  2. ・ライブ、ウェーハデモどちらでも対応できます