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株式会社サトウブロダクト

P-STATION液晶ガラス向外観検査装置

液晶ガラス向け
  • ■ 67um/Pixel※
  • ■ 最大550mm × 650mm※
    基板サイズ
  • ■ 独自保持機構で薄基板にも対応
  • ■ インライン(量産)対応モデル
  • ■ 硝子対応特殊光学系
  • ■ 高信頼性-リアルタイムOS採用
    (制御系)
  • ■ スループット:≧120枚/hr
ウェーハ向け
  • ■ 7um/Pixel※
  • ■ 最大12インチ
  • ■ インライン(量産)対応モデル
  • ■ 硝子対応特殊光学系
  • ■ 高信頼性-リアルタイムOS採用
    (制御系)
  • ■ スループット:≧120枚/hr

※変更可能(サイズなど)