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次世代高速外観検査装置
SPμ-x1
製品検査の高信頼性と高速化
高解像度光学系と異次元高速画像処理により
新たな高速モニタリング手法を実現
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高性能ウェーハマクロ検査装置
PRESTIGE Ⅱ
製品モニタリングと
プロセスモニタリングの両立
鏡面反射光検出技術とFLEX Armテクノロジーにより、擬似欠陥検出を抑制し重要欠陥の検出を実現
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液晶ガラス向外観検査装置
P-STATION
各種ガラス基板における
出来栄え検査の実現
各種ガラス基板における出来栄え検査の実現
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